|
·¹ÀÌÀúȸÀýÀÔµµºÐ¼®±â / LS13 320XR |
³ÐÀº ¿µ¿ªÀ» ½±°í Æí¸®ÇÏ°Ô ÃøÁ¤ °¡´ÉÇÑ »õ·Î¿î ·¹ÀÌÀúȸÀý ÀÔµµ ºÐ¼®±â |
Feature
£ª ·¹ÀÌÀúȸÀý ÀÔµµ ºÐ¼®±â·Î Fraunhofer ÀÌ·Ð, MieÀÌ·Ð,
PIDS Technology¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© Á¤È®ÇÑ ÀÔµµºÐÆ÷ ÃøÁ¤.
£ª 0.01um ~ 3,500um ÀÇ ´õ¿í ³Ð¾îÁø ¹üÀ§¸¦ ÇÑ ¹ø¿¡ ÃøÁ¤
£ª ´õ¿í Æí¸®Çϰí Á÷°üÀûÀÎ Software.
- AUTO PASS/FAIL CONTROL ·Î ÇÑ ´«¿¡ º¸À̴ ǰÁú°ü¸®
- SELF-CHECK SYSTEM À¸·Î Àåºñ ¹× »ùÇøµ »óÅ ÀÚ°¡ Áø´Ü
£ª »ùÇÃÀÇ Á¾·ù¿¡ µû¶ó ´Ù¾çÇÑ ¸ðµâÀ» º»Ã¼¿¡ °áÇÕ °¡´É
- ½À½Ä Module : ULM
- °Ç½Ä Module : Tornado DPS
|
 |
·¹ÀÌÀúȸÀýÀÔµµºÐ¼®±â / LS13 320 |
°¡Àå ÀϹÝÀûÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â ·¹ÀÌÀú ȸÀý¹æ½ÄÀ» ä¿ëÇÑ ÀÔµµºÐ¼®±âÀÔ´Ï´Ù. |
Feature
£ª ·¹ÀÌÀúȸÀý ÀÔµµ ºÐ¼®±â·Î ·¹ÀÌÀú ȸÀý¹ý, Fraunhofer ÀÌ·Ð, MieÀÌ·Ð,
PIDS TechnologyÀÇ ÀÌ·ÐÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© Á¤È®ÇÑ ÀÔµµºÐÆ÷ ÃøÁ¤.
£ª ÀÛÀº Å©±âÀÇ ÀÔÀÚ ºÐÆ÷ ÃøÁ¤¿¡ ÃÖÀûÈµÈ Æ¯Çã¹ÞÀº PIDS ±â¼ú·Î
¿Ïº¯ÇÏ°Ô 0.017um ~ 2,000um ÀÇ ³ÐÀº ¹üÀ§¸¦ ÇÑ ¹ø¿¡ ÃøÁ¤
(LS13 320MW only)
£ª ÀÚµ¿¼¼Ã´ ¹× ÀÚµ¿ºÐ»ê ½Ã½ºÅÛ Ã¤ÅÃ
£ª 132°³ÀÇ Detector¿Í 116°³ÀÇ Channel·Î ÃÖ°íÀÇ Resolution Á¦°ø
£ª Auto-Dock systemÀ¸·Î ¿©·¯Á¾·ùÀÇ Module ÀåÂø °¡´É
£ª ½À½Ä Module : ULM2, MLM, ALM
£ª °Ç½Ä Module : Tornado
|
 |
|